旋片式真空泵的維護：
檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵，試看真空泵是否靈活。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。點動電機，試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。開動電機，當真空泵正常運轉(zhuǎn)后，無油真空泵，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，不銹鋼真空泵，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。
真空泵的原理：
電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，2X旋片式真空泵，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，實驗用真空泵，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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