真空泵的原理:
電機的圓周運動,通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復式運動,循環(huán)水真空泵,從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮、拉伸形成真空(負壓),在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差,在壓力差的作用下,羅茨真空泵,將氣體壓(吸)入泵腔,再從排氣口排出。

真空泵的使用:
真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。由于每種真空泵都有它的極限真空度,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。若設備嚴格要求無油時,應該選擇各種無油泵,如:無油真空泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油的旋片真空泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:SKA型水環(huán)式真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
旋片式真空泵,真空泵的工作原理,它有公平地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子及轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的兩個或數(shù)個旋片,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)外表或相切或相交,轉(zhuǎn)子帶動旋片旋轉(zhuǎn)時,旋片借向心力(有的還有彈簧力)緊貼缸壁,把進排氣口聯(lián)系開來,并使進氣腔容器周期性擴展而吸氣,排氣腔容積則周期性地減少而緊縮氣體,借氣體和油的壓力推開排氣閥排氣,從而取得真空。雙級泵由二個單級串聯(lián)而成,進氣壓力高時,深圳真空泵,普通大中型泵,二級可同時排氣,進氣壓力低時,氣體由初級排入低級,然后再排出泵外。
